特氣管道檢漏，高純氣體管道檢漏

  FAB廠的廠務特種氣體管路，主要是通各種特種氣體,特種氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險，其危害性被不同國家區域和不同的工業組織進行了詳細的危險等級分類。對於一個大規模量產的電子工廠，其使用和存儲的電子氣體數量之多可以毫不誇張地被視為擁有“大規模殺傷性”武器庫。任何設計上、施工中、日常運行裏存在的安全隱患都會對工廠、人員和環境帶來巨大的災難。

 因此管路的檢漏工作特別重要。91麻豆天美京东蜜桃传媒老牛科技的麻豆自拍视频充分參與到南京台積電，長江存儲，合肥長鑫等眾多重點項目建設，為廠務安全保駕護航。

一、測試前準備

1. 係統成功的的通過了保壓檢漏。

2. 確認係統的所有部件都能承受得住真空狀態而不損壞。

3. 先對測漏儀本身閥組及連接管路進行漏率檢測。

4. 氦質譜檢漏儀與係統管路接通前，要將被測係統內的氣體釋放掉。

5. 緩緩打開測漏儀入口處的閥門，將測漏儀與管路係統隔離閥之間的管路抽真空，直至測漏儀顯示的背景漏率低於 1× 10-9 mbar.l/s。

6. 對連接管路上所有的焊道及機械連接處進行氦氣噴吹。

二、測試方法

1. 確認係統中所有的閥門和調壓閥都是全開的。

2. 確認係統中的壓力為0，如果係統中還有正壓，要先將係統中的氣體放掉。 

3. 緩緩打開檢漏儀入口處的閥門，開始將係統抽成真空狀態。遵照檢漏儀的操作說明操作，直至達到可以檢測的狀態。

4. 記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低於1 ×10-9 mbar.l/s以後，才可以進行噴吹工作。

5. 從最靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會停留在焊道或連接處一段時間，確認沒有泄漏後，進行下一個焊道或連接處的檢測，直到最後一個焊道或連接處。

6. 如果發現檢漏儀的指示值有上升的現象，待到檢漏儀讀值恢複正常後，重新檢測該焊道或連接處以確認其是否真的有漏，如果確認不是該焊道或連接處有漏，要依次檢測該焊道或連接處之前的焊道或連接處，直到找到漏點為止。

7. 直至所有的接點都被檢測到，檢測合格的接點要貼合格標誌。所有的接點都噴吹過氦氣後，繼續觀察檢漏儀的讀值10分鍾左右，確認讀值沒有異常後才可以將係統與儀器之間分離開。

8. 如果每個接點的氦氣漏率都低於1× 10-9 mbar.l/s，說明該係統的漏率是符合要求的。測試人員可以將檢測結果記錄在檢測報告裏了。

9. 將檢漏儀與係統分開。